設備使用

本所(茨城町)

レーザー顕微鏡

  • 測定光源:405nm,436nm,488nm,546nm,577nm,630nm の6 波長
  • レンズ:x5,x10,x20,x50,x100の標準レンズ,x50の長作動距離レンズ
  • ステージサイズ:300×300mm
  • 最小分解能:0.001μm(線幅測定,高さ測定)
  • 測定内容:2D・3Dの形状測定及び粗さ測定,膜厚測定
メーカー・型式
レーザーテック(株) H1200A-W
用途
材料等表面の非接触による性状評価
設置場所

本所(茨城町)

設備区分

物性試験・薄膜作成等機器

試験区分
利用目的

表面・内部を観察したい

寸法・形状を測定したい

導入年度
平成23年度
備考

依頼試験・設備使用時の料金について

利用方法

区分

単位

金額(円)

設備使用

レーザー顕微鏡

1時間

2,090

問合せ先

IT・マテリアルグループ(機械系)

〒311-3195 茨城県東茨城郡茨城町長岡3781-1

TEL:029-293-7482  FAX:029-293-8029