設備使用
本所（茨城町）
最終更新日：
レーザー顕微鏡
- 測定光源：405nm、436nm、488nm、546nm、577nm、630nm の6 波長
- レンズ：x5、x10、x20、x50、x100の標準レンズ、x50の長作動距離レンズ
- ステージサイズ：300×300mm
- 最小分解能：0.001μm（線幅測定、高さ測定）
- 測定内容：2D・3Dの形状測定及び粗さ測定、膜厚測定
- メーカー・型式
- レーザーテック(株) H1200A-W
- 用途
- 材料等表面の非接触による性状評価
- 設置場所
-
本所（茨城町）
- 設備区分
-
物性試験・薄膜作成等機器
- 試験区分
- 利用目的
-
表面・内部を観察したい
寸法・形状を測定したい
- 導入年度
- 平成23年度
- 備考
-
依頼試験・設備使用時の料金について
利用方法 |
区分 |
単位 |
金額（円） |
|---|---|---|---|
設備使用 |
レーザー顕微鏡 |
1時間 |
2,090 |
問合せ先
IT・マテリアルグループ（機械系）
〒311-3195 茨城県東茨城郡茨城町長岡3781-1
TEL：029-293-7482 FAX：029-293-8029