設備使用

本所(茨城町)

イオンミリング装置

  • 使用ガス:アルゴンガス
  • 断面ミリング:最大試料サイズ 20(W)×12(D)×7(H)mm
    最大ミリングレート 約300μm/h(材料Si)
  • 平面ミリング:最大試料サイズ φ50×25(H)mm
    最大ミリングレート 約2μm/h(材料Si、照射角60°,偏心量4mm)
メーカー・型式
(株)日立ハイテクノロジー IM4000形
用途
SEM・TEM・EBSD分析のための試料断面・平面の作成 機械研磨の最終仕上げ
設置場所

本所(茨城町)

設備区分

物性試験・薄膜作成等機器

試験区分

金属試験

利用目的

試料の前処理を行いたい

材料の加工を行いたい

導入年度
平成23年度
備考

依頼試験・設備使用時の料金について

利用方法

区分

単位

金額(円)

依頼試験

前処理 イオンミリング

1時間

3,080

設備使用

イオンミリング装置

1時間

2,310

問合せ先

IT・マテリアルグループ

〒311-3195 茨城県東茨城郡茨城町長岡3781-1

TEL:029-293-8575  FAX:029-293-8029