設備使用

本所(茨城町)

スパッタリング装置

マグネトロンスパッタ

  • ターゲットサイズ:φ4インチ
  • スパッタ源:3源(RF,強磁性体用RF,DC)
  • 雰囲気ガス:アルゴン
メーカー・型式
アネルバ SPF-430H
用途
ガラス基板等への機能性薄膜の形成
設置場所

本所(茨城町)

設備区分

物性試験・薄膜作成等機器

試験区分
利用目的

材料の加工を行いたい

導入年度
平成7年度
備考
電源地域産業集積活性化対策費補助事業
※留意事項:ターゲット材料は、ご使用される方がご用意ください。

依頼試験・設備使用時の料金について

利用方法

区分

単位

金額(円)

設備使用

スパッタリング装置

1時間

1,980

問合せ先

フード・ケミカルグループ(化学系)

〒311-3195 茨城県東茨城郡茨城町長岡3781-1

TEL:029-293-8576  FAX:029-293-8029