設備使用
本所（茨城町）
最終更新日：
スパッタリング装置
マグネトロンスパッタ
- ターゲットサイズ：φ4インチ
- スパッタ源：3源（RF、強磁性体用RF、DC）
- 雰囲気ガス：アルゴン
- メーカー・型式
- アネルバ SPF-430H
- 用途
- ガラス基板等への機能性薄膜の形成
- 設置場所
-
本所（茨城町）
- 設備区分
-
物性試験・薄膜作成等機器
- 試験区分
- 利用目的
-
材料の加工を行いたい
- 導入年度
- 平成7年度
- 備考
- 電源地域産業集積活性化対策費補助事業
※留意事項：ターゲット材料は、ご使用される方がご用意ください。
依頼試験・設備使用時の料金について
利用方法 |
区分 |
単位 |
金額（円） |
|---|---|---|---|
設備使用 |
スパッタリング装置 |
1時間 |
2,420 |
問合せ先
フード・ケミカルグループ（化学系）
〒311-3195 茨城県東茨城郡茨城町長岡3781-1
TEL：029-293-8576 FAX：029-293-8029